半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体设备高档次首测配套方案涉重污废水 ——MVR二次重复零排楼盘
项目流程情况
光电器件高端品牌公测工程工程项目,人数150立米米/天,是首份光电器件公测相互配套涉重污废液 零排工程工程项目。公测部门的镀镍、镀铜、引线框架结构冲洗会所产生含镍含铜污废液 ,该项目标准要求"无尾水外排",产水基本回收于产线。
水质标准优点与关键点
污水以含镍为重(渗透压10–100毫克/升),伴轻微铜、锌,pH下降大(2–12),另外 光刻胶残存的一些有机化学物。测封厂场景紧,让解决场地设施占地赔偿小;零排后果着浓水没办法建筑垃圾清运越来越多,可以本地网汽化心得前馈。
解决制作工艺路径
一体化走"分质回收 → 预整理除杂 → 化学上沉积除镍 → 过滤装置 → UF+多级RO → MVR强制性循坏多效蒸发 → 气液分离器水使用":
含镍线先调pH到10–11,添加氢腐蚀钠转化Ni(OH)₂乳浊液,加个混炼钠高度收集多余镍(混炼镍Ksp比氢腐蚀镍更小,能让镍压到0.1毫克/升一些);
石雕文化沉淀喷水经多媒质过滤器清洁+物业保安过滤器清洁后进UF,再进二级RO,产水之间回产线清晰;
RO浓水(含盐+多余血本属)进MVR立即性循环往复往复冷却器掉器,立即性循环往复往复能扛高含盐结渣,冷却器掉器带有百度在线清洁工作,不可堵;
MVR空调多效蒸发器水回去造纸废水处理池体,多效蒸发残液委外焚化或当做危废处理外理,整块生产车间无等离子态外排。
关键因素环保设备缺点表明
MVR强制性要求巡环较之高级降膜减压蒸馏掉,巡环气速高、传热系数面不可以结镍盐/碳酸盐垢,最适合测封这一"出水量太大但生活饮用水杂"的画面;合二为一化撬装设置征占比一般减压蒸馏掉塘+多效减压蒸馏掉情况报告小60%往上;怪味侧服务设施生物学滤池,把缓解池和淤泥间的怪味回收利用后光降解成CO₂和水,减少测封厂紧临办公装修区的怪味申诉。
治理成果与经济收益
留水镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,强于《电镀工艺环境破坏物废气低能耗尾气排放标准标准》表三;基本150立方米/天产水中水回用于公测产线清晰,方式等量优质水;垃圾(多效蒸发残液+工业废水)量比常用"结晶+废气尾气排放标准"传统模式减约70%。对富士康侧,公测新项目低能耗市场准入卡点刻上通;