郑州某光电器件鑫霖环保芯片生产加工厂，晶圆生产加工的过程 中会产生含硅、氟的特别的废污水，设计制作治疗产值1200吨/日。废污水有效成分简化，含有纳米技术级硅颗粒状及氢氧化钠，普通治疗措施难于不合格。 废气材质及收入 重要弄脏物 ：胶体溶液硅（100-500nm粒度）、氟铝离子（200-300mg/L）、异丙醇 来原加工过程 ：晶圆刻蚀污水（45%）、CMP化学工业机械制造镜面抛光污水（40%）、环保设备清洗水（15%） 外理技艺具体步骤 革新通过"化工积累+特殊膜拆分"枝术路径： 钙盐积淀 ：污泥脱水氯化钙快速清理氟铝离子（合成CaF2沉淀出的） 斜板沉淀池的反应 ：符合水解酸化池剂保证悬浊液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm口径膜挤占微细颗粒剂 反侵入系統 ：脱盐率>98%，再利用率75% 蒸发器结晶体 ：浓水段确保氟化物零产生 决定视觉效果 氟化物含量：<8mg/L（少于国家1阶段要求10mg/L） 硅分量：<5mg/L 水材料使用率：70%在冷去塔补湿 危险废物减轻药量：多效蒸发沉渣量较中国传统加工制作工艺 缩短60%